SiC Keramyk

SiC-keramyk wurdt hieltyd faker brûkt yn healgeleiderapparatuer, benammen om't se better standhâlde yn dreger omstannichheden. As de temperatuer heech wurdt of it proses agressiver wurdt, kinne materialen lykas kwarts of silisium grinzen begjinne te sjen litten, en dat is meastentiids wêr't SiC yn it spul komt. Yn ovenprosessen lykas oksidaasje of diffúzje, geane ûnderdielen lykas waferboaten of peddels makke fan SiC langer mei. Se behâlde har foarm en bringe net folle fersmoarging mei, sels nei lange runs. Minsken wikselje faak oer fan kwarts om dizze reden, foaral as ûnderhâld te faak wurdt.

Foar etsen wurdt SiC faak keazen, gewoan om't it plasma langer oerlibet. It ferskil yn libbensdoer yn ferliking mei silikonûnderdielen is merkber yn in protte opstellingen, hoewol it noch altyd ôfhinklik is fan it krekte proses. It helpt ek in bytsje mei dieltsjekontrôle, dy't gefoeliger wurdt as knooppunten krimpen. Jo sille SiC ek sjen brûkt as susceptors yn MOCVD of CVD. Yn dy gefallen giet it minder oer "sterkte" en mear oer it stabyl hâlden fan temperatuergedrach. Dêrnjonken ferskynt it yn keamerûnderdielen lykas liners of dûskoppen, en soms ek yn ôfhannelingskomponinten.