EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
PZT Piezoelektryske Wafers
Mei de eksplosive groei fan 5G-kommunikaasje, presyzjemedisinen en tûke draachbere apparaten nimt de fraach nei MEMS-transducers mei hege gefoelichheid en leech fermogen ta. Us piëzoelektryske wafers (PZT op Si/SOI) brûke avansearre tinne-filmôfsettingsprosessen om útsûnderlike uniformiteit en superieure piëzoelektryske eigenskippen op silisiumsubstraten te berikken, en tsjinje as de fûnemintele kearn foar effisjinte elektromechanyske enerzjykonverzje.
Beskriuwing
Oanpaste tsjinsten
Neist it oanbieden fan standerdisearre 8-inch PZT-wafers, biede wy ek wiidweidige oanpassingsmooglikheden dy't oanpast binne oan 'e spesifike easken fan ús kliïnten:
● Substraatferskaat: Wy stypje ôfsetting op sawol Si-wafers as SOI-wafers (mei in wjerstân fan > 5000 ohm/cm).
● Oanpassing fan tinne film: Spesifike soarten en diktes fan tinne film kinne oanpast wurde om te foldwaan oan ûntwerpspesifikaasjes.
● Fleksibele grutte: Wy biede ferwurkingsmooglikheden foar sawol 6-inch as 8-inch waferformaten.
● Troch klant levere wafers: Wy akseptearje troch klant levere substraten foar piezoelektryske tinne filmgroei.
Jo Technyske Partner: Wy binne ynsette foar it jaan fan wiidweidige stipe - fan materiaalgroei oant strukturele oanpassing. Oft jo no yn 'e R&D-faze fan it laboratoarium binne of yn 'e massaproduksjefaze, ús technyske team is ree om de piëzoelektryske oplossingen te leverjen dy't it bêste by jo behoeften passe.
Spesifikaasjes
Us standertprodukten wurde produsearre mei 6-inch en 8-inch prosessen, mei ferfine mearlaachse strukturele ûntwerpen dy't stabile prestaasjes garandearje yn komplekse MEMS-fabrikaazjeworkflows.
Parameters foar laachstruktuer (standert 8-inch)
| Laach | dikte | Noat |
| Top elektrodes | maatwurk | Boppeste elektrode |
| Piezo-laach | maatwurk | Kearn Piezoelektryske Laach |
| Bufferlaach | maatwurk | Kontroallaach foar nôtoriïntaasje |
| Bottom elektrodes | 100 nm ± 10% | Underste elektrode |
| Adhesjelaach | maatwurk | Adhesjelaach |
| Substrate | maatwurk | 4/6/8-inch opsjes beskikber |
Wichtige prestaasje-yndikatoaren (skaaimerken)
● Piezoelektryske konstante (d31): 200 pC/N — Soarget foar tige effisjinte meganyske ferpleatsingsútfier.
● Piëzoelektryske koëffisjint (e31): −15 C/m² — Biedet in tige gefoelige elektryske ladingsreaksje.
● Hege Uniformiteit: Ferifiearre fia XRD-diffraksje-analyze, toant de PZT-film in sterke (100) oriïntaasje, wat soarget foar útsûnderlike prestaasjeuniformiteit oer de heule wafer.
| PZT-skaaimerken | Polykristal PZT |
| Piëzoelektryske konstante d31 | 200 pC/N |
| piezoelektryske koëffisjint e31 | -14 C/m² |
| Curie temperatuer | X ℃ |
SEM-ôfbylding en XRD
Oanfraach
Fiif wichtige tapassingsgebieten
1. Piëzoelektryske ultrasone transducers (pMUT)
It brûken fan 'e hege piëzoelektryske konstante fan PZT-tinne films om hege-frekwinsje, miniaturisearre ultrasone arrays te meitsjen. Breed tapast yn fingerprintherkenning ûnder it skerm, gebarensensors en ultrasone radarsystemen foar auto's.
2. RF-filters en kommunikaasje (RF MEMS)
Yn 5G- en 6G-kommunikaasjesystemen binne hege prestaasjes piëzoelektryske materialen kritysk foar it produsearjen fan FBAR- en SAW-filters, wêrtroch bredere bânbreedtes en legere ynfoegingsferliezen mooglik binne.
3. Akoestyske MEMS (Sprekers/Mikrofoans)
MEMS-sprekkers krêft jaan mei superieure tydlike respons en lûdsdruknivo's (SPL), wylst tagelyk de signaal-lûdsferhâlding (SNR) fan MEMS-mikrofoans ferbettere wurdt om audio-opname yn hege definysje mooglik te meitsjen.
4. Presyzje floeistofkontrôle (inkjetprintkoppen)
Troch gebrûk te meitsjen fan hege-snelheidsvibraasjes yn 'e d31-modus om presyzje op nanoliternivo te berikken yn it kontrolearjen fan it folume fan inktdruppels; tsjinnet as de kearnaktuaasjekomponint foar yndustriële inkjetprintsystemen mei hege resolúsje.
5. Medyske estetyk en mikropompen
Oandriuwing fan medyske vernevelaars en estetyske ultrasone pompen. Troch gebrûk te meitsjen fan de kompakte grutte en hege betrouberens fan PZT-tinne films, meitsje wy de effisjinte ferstuiving en presys levering fan floeibere medisinen mooglik.
