Hege suverens SiC waferboat

Optimalisearre termyske fjildoplossingen foar fabrikaazje fan 4-12 inch

Wêrom wikselje liedende fabriken fan kwarts- nei SiC-boaten?

Superieur oan kwarts dat ûnûntkomber by 1150 °C brekt fanwegen devitrifikaasje, behâlde ús SiC-boaten absolute geometryske presyzje ûnder ekstreme termyske stress. Mei tank oan syn hege tichtheid foarkomt de CVD SiC-matrix it ôfstjitten fan dieltsjes. It is spesifyk boud om te gean mei de 'nul-ekskurzje'-easken fan 'e hjoeddeiske submikronfabrikaazjeprosessen.

Us ûnderdielen kinne folle better omgean mei agressive HF/HNO3-reiniging as kwarts, geane langer mei en ferleegje de ferfangingskosten. Mei optimalisearre termysk behear foar rappe, gelijkmatige ferwaarming, leverje se de prosesstabiliteit dy't nedich is foar wafers fan 4 inch oant 12 inch yn produksje fan hege folume.

Expert ynsjoch

Oars as tradisjonele grafytboaten dy't swier leanje op oerflakcoatings, elimineert de monolityske SiC-op-SiC-arsjitektuer fan Semixlab de strukturele "mismatch" tusken substraat en hûd. Troch de útwreidingskoëffisiënten oer de heule ienheid te ferienigjen, hawwe wy de groanyske yndustryhoofdpijn fan delaminaasje oplost. Foar 8-inch en 12-inch hege-volume fabriken is dit net allinich in materiaalupgrade - it is in TCO-revolúsje. Mei in libbensdoer dy't 5 kear heger is as standert kwarts, transformearje ús solide SiC-boaten in konsumpsjekosten yn in lange-termyn produksjemiddel.

Technyske spesifikaasjes en oanpassing

Wy kinne alles oanpasse oan jo spesifike ovenopset - horizontaal as fertikaal - en oanpasse oan jo krekte waferbehannelingsbehoeften.

Typyske applikaasjes 

Us SiC-boaten binne boud foar de swierste fabryksomstannichheden. Se hâlde har foarm perfekt tidens Si/SiC-epitaksy nettsjinsteande H2-etsen, en har hege suverens is in rêder yn need foar diffúzjeprosessen wêr't fersmoarging in risiko is. Foar ALD en LPCVD fungearje se as in stabile termyske massa om te soargjen dat de film evenredich oer alle wafers ôfset wurdt.

Skematyske foarstelling fan CVD-proses foar SiC Boatcoating, wêrby't 7N suverens en unifoarme tichtheid garandearre wurdt

1) 7N Ultra-Hege Suverens (CVD-ynkapseling) Ynstee fan in basiscoating brûke wy in hege-tichtens CVD SiC-ynkapseling om in wrâldwide suverens fan 99.99999% te befeiligjen. Foar hege-spanningsapparaten lykas IGBT's en MOSFET's is dit net opsjoneel - it is de ienige manier om metalen ûnreinheden (Fe, Ni, Cu) hurd te stopjen fan it triggerjen fan katastrofale lekstreamen.

2) Presyzje-ûntwurpen sleufgeometry Wy dogge net "ien maat past allegear". Oft jo no in standert V-groef nedich binne of in spesjalisearre U-sleuf foar it behanneljen fan fragile, tinne wafers, ús CNC-sintra hâlde tolerânsjes oant in krappe ± 0.05 mm. Dizze ekstreme presyzje elimineert waferratteljen by de boarne en ferminderet rânespanning by hege-snelheid robotyske oerdrachten.

3) Optimalisearre Duty Cycle & CTE-oanpassing It grutste falpunt yn coated boaten is delaminaasje. Wy hawwe dit oplost troch de bondingsterkte fan 'e coating oan te passen om de termyske útwreidingskoëffisjint (CTE) fan it substraat perfekt te reflektearjen. It resultaat? In boat dy't ûnferbidlike termyske syklusen yn oksidaasje- en diffúzjeovens oerlibet sûnder dat de coating ôfbladdert of loskomt fan it basismateriaal.