SiC-coated grafythâlder foar ICP

Multi-wafer Si epitaksiale ferwurkingsplatfoarm

Semixlab SiC Coated Graphite Holder foar ICP is spesifyk ûntworpen foar induktyf keppele plasma-etsen en -ôfsetting. It brûkt in grafytsubstraat mei hege suverens yn kombinaasje mei in silisiumkarbide coatingproses om poerbêste hege temperatuerresistinsje, korrosjeresistinsje en oksidaasjeresistinsje te leverjen. It is geskikt foar rûge analytyske omjouwings, wêrtroch't de libbensduur fan komponinten signifikant ferlingd wurdt en ûnderhâldskosten fermindere wurde. Tagelyk garandearje wy strange kwaliteitskontrôle, oanpaste tsjinsten en snelle levering.

Oanfraach:

SiC-coated grafythâlder is in kaaikomponint yn ets- en ôfsettingsprosessen fan healgeleiders mei induktyf keppele plasma (ICP) fanwegen har hege suverens, hege temperatuerresistinsje en poerbêste plasma-eroazjeresistinsje.

Tsjinsten dy't oanbean wurde kinne:

analyse fan klanttapassingsscenario's, oerienkommende materialen, technyske probleemoplossing.

Bedriuwsprofyl:

Semixlab hat 2 laboratoaria, in team fan saakkundigen mei 20 jier materiaalûnderfining, mei R&D en produksje-, test- en ferifikaasjemooglikheden.

Technical Parameters

Main applikaasje fjilden

Ekologyske ketenferifikaasje-oanbefelling

De ferifikaasje fan Semixlab SiC Coated Graphite Holder foar de ekologyske keten fan ICP omfettet grûnstoffen oant produksje, hat ynternasjonale standertsertifikaasje trochjûn en hat in oantal patintearre technologyen om de betrouberens en duorsumens te garandearjen yn 'e healgeleider- en nije enerzjyfjilden.

Foar detaillearre technyske spesifikaasjes, wite boeken, of foarbylden fan testregelingen, nim dan kontakt op mei ús Technyske Stipeteam om te ûndersiikjen hoe't Semixlab jo proseseffisjinsje kin ferbetterje.

Foardielen fan Semixlab SiC-coated grafythâlder foar ICP-kearn

Super Corroson WORDING

SiC-coated grafythâlders brûke in gemysk dampôfsettingsproses om in tichte beskermjende laach silisiumkarbid op it grafytoerflak te foarmjen, wêrtroch korrosje fan sterke soeren, basen en organyske oplosmiddels effektyf wjerstean kin. Yn ferliking mei tradisjonele grafyt- of metalen hâlders binne dizze hâlders stabiler by it omgean mei tige korrosive samples, wêrtroch fersmoarging troch materiaaldegradaasje foarkomt. Se binne benammen geskikt foar ICP-tapassingen dy't lange termyn bleatstelling oan korrosive media omfetsje.

Hegere temperatuerstabiliteit

Yn 'e hege-temperatuer ICP-plasma-omjouwing wurdt gewoan grafyt maklik oksidearre en ablateare, mar de SiC-coating remt de reaksje tusken it grafytsubstraat en soerstof signifikant. De hege-temperatuerresistinsje soarget derfoar dat de hâlder syn strukturele yntegriteit behâldt ûnder lange termyn hege-temperatuer wurkomstannichheden, wêrtroch't de prestaasjes fan it ynstrumint troch termyske deformaasje of materiaalferlies foarkomt. It is benammen geskikt foar de trochgeande testbehoeften fan hege-trochset laboratoaria.

Hege meganyske sterkte

SiC hat in hurdens dy't ticht by dy fan diamant leit, en de coating ferbetteret de slijtvastheid fan it hurdere oerflak signifikant. Yn ICP ferminderje SiC-coatings oerflakslijtage en fergrutsje de presyzje fan 'e fit fan wichtige komponinten, wêrtroch't de stabile ionenoerdrachtseffisjinsje behâlden wurdt en de ferfangingsfrekwinsje fermindere wurdt.

Kosten effisjint

Yn ferliking mei suver SiC of platina behâldt SiC-coated grafyt poerbêste prestaasjes, wylst de kosten mei 30%-50% fermindere wurde. De libbensdoer is 3-5 kear dy fan gewoane grafythâlders, wêrtroch't downtime en ferbrûksartikelen signifikant fermindere wurde. It is in optimaal kosten-effektive oplossing, benammen foar laboratoaria mei beheinde budzjetten dy't lange-termyn stabile operaasje nedich binne.