TaC-bedekte rotaasjeplaat

De Semixlab TaC Coated Rotation Plate is ûntworpen foar hege-temperatuer en korrosive omjouwings dy't faak foarkomme yn healgeleider-epitaxy, CVD en kristalgroeiprosessen. Dizze rotaasjeplaten spylje in wichtige rol by it stypjen fan waferdragers of susceptors tidens trochgeande substraatrotaasje, wêrtroch't unifoarme termyske ferdieling en ôfsetting garandearre wurde. Troch it oanbringen fan in tantaalkarbide (TaC) coating berikt dizze komponint útsûnderlike duorsumens, termyske stabiliteit en proseslange libbensduur yn easken fakuüm- en hege-temperatuer healgeleider-tapassingen.

Oanpassings- en stipetsjinsten fan Semixlab

● Oanpaste coatingdikte en geometry

Oft it no giet om rotaasjeplaten fan 200 mm, 300 mm of oanpaste rotaasjeplaten, it team fan Semixlanb leveret geometryspesifike TaC-coatingoplossingen dy't oanpast binne oan jo prosesomjouwing.

● Advys oer materiaalseleksje

Hulp nedich by it kiezen tusken grafyt-, SiC- of kwartssubstraten? Us yngenieurs helpe jo by it kiezen fan it optimale basismateriaal foar jo TaC-coating.

● Fluch Prototyping & Lytse Batch Tsjinsten

Ideaal foar R&D en pilotproduksje, stipet Semixlab bestellingen mei lege MOQ mei koarte leadtiden.

● Responsive stipe nei ferkeap

Fan ynstallaasjebegelieding oant it folgjen fan coatingprestaasjes, ús technyske team soarget derfoar dat jo wearde en betrouberens op lange termyn krije fan elke komponint dy't wy leverje.

● Epitaksiale groei fan SiC en GaN

● Metaalorganische gemyske dampôfsetting (MOCVD)

● Gemyske dampôfsetting ûnder lege/hege druk (LPCVD / HPCVD)

● Saffier- en SiC-kristalgroeiovens

● Avansearre tinne filmferwurkingskeamers

silisiumkarbide epitaksiale groeioven en kearnaccessoires

As in liedende fabrikant en leveransier fan TaC-coated rotaasjeplaten yn Sina, mei djippe yndustryekspertize, presyzjecoatingtechnology en in sterke ynset foar ynnovaasje, leveret Semixlab TaC-coated komponinten dy't foldogge oan 'e strange noarmen fan' e healgeleideryndustry. Wy hoopje oprjocht jo lange-termyn partner yn Sina te wurden.

Wichtige fysike eigenskippen en prestaasjesfoardielen

1. Útsûnderlike termyske stabiliteit

TaC hat in smeltpunt fan mear as 3880 °C, wêrtroch't de beklede rotaasjeplaat útsûnderlik stabyl is by langere ferwurking by hege temperatueren.

Dizze termyske fearkrêft is krúsjaal foar MOCVD-, LPCVD- en PVD-systemen, wêr't substraten bleatsteld wurde oan fluktuearjende en ekstreme temperatueren.

2. Superieure gemyske inertheid

Tantaalkarbid is gemysk inert foar de measte agressive gassen en korrosive byprodukten, ynklusyf chloor, wetterstof en halogeenferbiningen.

Dizze gemyske wjerstân soarget foar prestaasjes op lange termyn en fermindere risiko's op fersmoarging, kritysk foar SiC-epitaxy, GaN-ôfsetting en oksidefilmgroei.

3. Uitstekende hurdens en eroazjebestriding

Mei in Vickers-hurdens boppe 2000 HV is it TaC-coated oerflak bestand tsjin meganyske slijtage fan rotearjende meganismen en dieltsje-ynfloed.

It foardiel oerset yn in ferlingde libbensdoer en in legere ferfangingsfrekwinsje, wêrtroch ûnderhâldsdowntime yn 'e produksje fan healgeleiders minimalisearre wurdt
linen.

4. Uitstekende Coating Uniformiteit en Adhesje

It eigen CVD-coatingproses fan Semixlab soarget foar tichte, unifoarme en goed hechte TaC-lagen, dy't essensjeel binne foar konsekwinte prosesresultaten en minimale dieltsjegeneraasje.