Fan dieltsjekontrôle oant opbringstferbettering yn epitaksyprosessen

Partikels sa lyts as lytse mikroskopyske stikken kinne de wafers ferneatigje yn Epitaksygroei produksje en dêrtroch jo opbringst ferneatigje. Sels in ûnsichtber dieltsje yn 'e reaktor kin de defekten op 'e wafer sa meitsje dat it net trochgiet. Dêrom is it kontrolearjen fan dieltsjes in krúsjale stap foar in stabyl en goed kwaliteitsprodukt.

In protte fan 'e oplossingen foar dieltsjesproblemen binne basearre op brutsen ûnderdielen, in min skjinmeitsproses of ferkearde ôfhanneling fan 'e ûnderdielen. It kin in enoarm ferskil meitsje foar de opbringst as it probleem oplost wurdt troch dizze triviale dingen te reparearjen.

Hoe oerflakrûchheid dieltsjesproblemen feroarsaket yn epitaksyproduksje

It probleem dat jo op it stuit hawwe is dat in rûch oerflak eins dieltsjes útstjit fanwegen ferwurking by hege temperatuer.

De lytse krassen dy't op ûnderdielen ûntstean kinne, bygelyks as se ûnderwurpen wurde oan werhelle temperatuersyklusen, kinne úteinlik ûntwikkelje ta mikroskopyske barsten, en lytse stikken fan it materiaal begjinne om 'e binnenkant fan' e fakuümkeamer te reizgjen. It binne dizze dieltsjes dy't op 'e wafers falle en defekten feroarsaakje.

It meast foarkommende probleem lykas dit yn grafytûnderdielen is wêr't it grafyt net mear effektyf bedekt is fanwegen slijtage. As de beskermjende laach ôfslijt, kin it de rûge grafyt hjirûnder bleatlizze en dat sil dan makliker dieltsjes ôfstjitte.

Rûge oerflakken sille ynfloed hawwe op de gasstream yn 'e reaktor, wêrtroch't maklik ferdwaalde dieltsjes har wei fine yn it ferwurkingsgebiet.

Routinekontrôles sille oerflakken yn dizze steat fine foardat se sa min wurde, as komponinten opnij coated of gepolijst wurde, sil dit helpe om de libbensdoer fan 'e komponinten te behâlden. Soarch by it omgean mei komponinten yn dit stadium sil ek krassen minimalisearje dy't letter boarnen fan dieltsjes kinne wurde.

Stadige en foarsichtige ferwaarmings- en koelsyklusen sille minder stress pleatse op 'e coatings en op syn beurt it oerflak derûnder.

Soargje derfoar dat alle oerflakken glêd bliuwe, hat yn it ferline in protte waferferwurkingsfabriken ferbettere yn har striid mei dieltsjes, en dêrtroch har waferopbringst ferhege.

Avansearre CVD SiC Coating Technologies foar skjinne reaktorkeamers

De CVD sic coating , as in gemysk-bestindige, hurde en glêde laach, foarkomt dieltsjes dy't generearre wurde tidens de reaktoroperaasje en sa foarkomt dat dieltsjes wafers fersmoargje.

Yn in âld proses wie de dikte fan 'e coating net unifoarm en de hoeken en yngewikkeld foarme gebieten hienen de neiging om maklik ôf te slijten nei ferwaarming, wêrtroch't dieltsjes ûntstienen en de wafers fersmoarge waarden.

Modern CVD SiC-proses en Epitaksiale groei healgeleider besykje in unifoarme film op it oerflak te krijen troch de temperatuer en gasstream soarchfâldich te kontrolearjen, wêrtroch in stabiler en duorsumer film ûntstiet mei minder kâns op slijtage en dieltsjes. Guon fabriken fûnen minder dieltsjes yn 'e reaktor nei it opwurdearjen fan it coatingsysteem. Harren coatinglibben is langer en de dieltsjes waarden fermindere tidens it heule proses.

Glêdens fan 'e film is ek ien fan 'e parameters dy't kritysk binne foar it foarkommen fan dieltsjes en fersmoarging. Fine polish it oerflak fan 'e film. Dit sil lytse putjes op it oerflak ferminderje wêr't it dieltsje of residu sil sammelje. Fierder kin it glêde oerflak fan 'e coating ek de opgarjen fan dieltsjes om it skaaimerk fan 'e reaktor foarkomme, wat ek de gasstream kin beynfloedzje en dieltsjes fan wafers kin helpe.

It is needsaaklik om de kleur, oerflakstruktuer en dikte fan 'e coating te kontrolearjen. As jo ​​in kleurferoaring fernimme, sil de film syn eigenskippen ferlieze, it oerflak wurdt grover, en as de dikte fan 'e coating tinner wurdt, is it miskien tiid om de reserveûnderdielen te ferfangen.

Oerflakbehannelingstechniken foar epitaksiale ûnderdielen mei hege prestaasjes

Dit is tige wichtich om de libbensduur fan ûnderdielen te fergrutsjen en dieltsjefoarming te ferminderjen. As it oerflak net goed taret wurdt, sil de coating in swakke ferbining hawwe en kin it ôfbladderje as it yn tsjinst brûkt wurdt.

Dit omfettet it fuortheljen fan stof, oalje en masinearjende merken, foardat de coating oanbrocht wurdt en Epitaksiale groei yn ic-fabrikaazje Der binne ek oare ekstra oerflak tariedings. Aktivaasje sil resultearje yn in effektiver coating, wêrtroch't de wjerstân tsjin temperatuer en syklussen tanimt.

De tekstuer fan it oerflak is wichtich; as it oerflak te rûch is, kin de coating net genôch 'hâlde', of te glêd en hat it in swakke ferbining. As ûnderdielen út 'e produksje helle wurde, moatte se tige foarsichtich behannele wurde, om't stof of oalje fan hannen of ark oan it oerflak plakt.

Guon produksjelinen hawwe har dieltsjeproblemen oplost troch allinich te fokusjen op har oerflaktarieding, en oaren behannelje it oerflak mei plasma om mikrofersmoarging te ferminderjen.

Ferbetterjen fan opbringststabiliteit yn AIXTRON- en Veeco EPIK-platfoarms

De stabiliteit fan 'e waferopbringst wurdt hanthavene troch de skjinens fan 'e reaktor en syn ûnderdielen. It meast foarkommende probleem is it senario nei it skjinmeitsjen. Sels it lytste bytsje oerbleaune residu kin tidens de ferwurking yn 'e keamer ôfbrekke om dieltsjes te generearjen, wêrtroch úteinlik waferdefekten ûntsteane.

In twadde probleem is slijtage en ferâldering fan bedekte grafytkomponinten. Sels hoewol der nei in protte syklusen gjin sichtber probleem is op it bedekte grafyt, kinne der mikroskeuren ûnder de coating ûntstean, dy't dieltsjes produsearje op it momint fan operaasje. De gasstream kin ûnregelmjittich wurde as oerflakken ferâldere en rûch wurde, wat ûngelikense ôfsetting feroarsaket of dieltsjes meinimme sil yn 'e waferstream.

Yn in poging om de stabiliteit te ferbetterjen brûke in protte fabriken in komponintlibbenstracker. Se kinne identifisearje hoe lang ûnderdielen al yn wurking binne, skatte wannear't it ûnderdiel ferfongen wurde moat, en previntyf maatregels nimme om de opbringst te ferbetterjen. Wylst skjinmeitsjen goed is, kin te agressyf skjinmeitsjen beskermjende coatings ferneatigje en resultearje yn oerflakrûchheid. Yn 't algemien kinne soarchfâldich previntyf ûnderhâld en juste ferfangingsskema's de waferopbringst ferbetterje.

Falenanalyse fan fersmoarge grafytkomponinten mei hege suverens

Suvere grafytûnderdielen binne makke om hege temperatueren te wjerstean, mar in fersmoarging kin op 'e lange termyn noch liede ta falen.

Fersmoarging kin barre troch kontaktfersmoarging by it wurkjen mei it materiaal. As it ark dat mei grafyt wurket, de want of it gebiet dêr't grafyt bewarre wurdt smoarch is, kin it stof op it oerflak ferskine en dan tidens it hege temperatuerproses reagearje mei grafyt. Ek sille tidens de hege temperatuerbehanneling yn 'e lytse poaren fan it grafyt gemyske spoaren binnen bliuwe. Dy ferbiningen wurde letter útwreide en/of reagearje en litte de dieltsjes frij.

As foarbyld: Tidens ien produksjerun wie it oantal defekten op 'e wafer yn 'e rin fan 'e wiken stadichoan tanommen. By kontrôle die bliken dat de fersmoarging yn 'e grafytliners oerienkomt mei de lokaasje fan it dieltsje op 'e wafer. Termyske syklusen meitsje it probleem slimmer. Elke opwaarming en ôfkuolling set stress op fersmoarge gebieten. Skjinne grafyt kin dit meastentiids goed oan, mar fersmoarge sônes wreidzje mei ferskillende snelheden út, wat stadichoan mikroskeuren feroarsaket.

Der binne in pear praktyske stappen om dit risiko te ferminderjen. Soarchfâldige opslach yn skjinne, fersegele konteners helpt iere fersmoarging te foarkommen. Gereedschap moat allinich bedoeld bliuwe foar ûnderdielen mei hege suverens. Tidens ûnderhâld wurkje sêfte skjinmeitsmetoaden better as sterke gemyske of abrasive stappen, om't rûge behanneling nije poaren op it oerflak iepenje kin.

It folgjen fan ûnderdielhistoarje helpt ek. As in ûnderdiel in protte syklusen of meardere skjinmeitstappen hat trochmakke, is it nuttich om it nauwer te ynspektearjen foardat it opnij brûkt wurdt. Lytse feroarings yn oerflakkleur of tekstuer kinne iere tekens fan djippere fersmoarging jaan.

Mei de tiid helpt it kontrolearjen fan dizze lytse details om grafytûnderdielen stabyl te hâlden en ferminderet it ûnferwachte dieltsje-eveneminten yn epitaksysystemen.