Silisiumkarbide ovenbuis

Semixlab leveret in SiC-ovenbuissysteem mei ultra-hege suverens, termyske fjildoplossingen fan healgeleiderkwaliteit mei in coatingsuverens fan 99.9999% en folsleine linelevering.

Kearnweardeproposysje

Soargje foar in termyske omjouwing sûnder fersmoarging foar waferproduksje: 99.9% SiC-suverens fan substraat + 99.9999% suverens fan CVD-coating, kombineare mei in kompleet SiC cantilever paddle & waferboatsysteem, om nul metaalfersmoarging yn 'e proseskeamer te berikken.

Ferskillende nammen foar produkten:

Hege temperatuer SiC-ovenbuis; silisiumkarbidbuis; Hege suverens SiC-buis; Silisiumkarbidbuis foar diffúzjeoven; Silisiumkarbidbuis foar diffúzje- en LPCVD-proses; SiC-buis foar RTP, SiC-buis foar oksidaasje

Kearnspesifikaasjes:

Materiaalsuverens: It basismateriaal is silisiumkarbid mei in suverens fan mear as 99.9%, en de suverens nei CVD-coating is mear as 99.9999% (6N-klasse).

Termyske prestaasjes: Maksimale wurktemperatuer 1650 ℃ (lange termyn), koëffisjint fan termyske útwreiding: 4.6 × 10⁻⁶/℃, uniformiteit yn 'e konstante temperatuerône: ±1.5 ℃ (1200 ℃);

Mechanyske sterkte: Bûgingssterkte 450Mpa (by keamertemperatuer).

Main uses

Termyske fjilddrager

Stel in stabyl en unifoarm temperatuerfjild yn binnen it berik fan 1200 ℃ oant 1650 ℃ (it temperatuerferskil yn 'e konstante temperatuersône is ≤ ± 1.5 ℃)

Soargje foar de termodynamyske omstannichheden fan prosessen lykas diffúzje, oksidaasje en gloeien.

Fersmoarging isolaasje barriêre

Blokkearje de diffúzje fan metaalionen (lykas Fe/Ni/Cu, ensfh.) troch materialen mei hege suverens (lykas SiC).

Foarkom krúsbesmetting tusken prosesgassen en de eksterne omjouwing.

Prosesgaskanaal

Kontrolearje de streamrjochting en ferdieling fan reaksjegassen presys (lykas O₂/N₂/SiH₄, ensfh.)

Berikke unifoarme gasfaze-reaksjes op it waferoerflak (lykas SiO₂-groei).

Fotovoltaïske coating: Stipe TOPCon/HJT-sel PECVD-proseswafertransport.

Applikaasje-senarios

● Epitaksy

● Oksidaasje/Diffúzje

● LPCVD/PECVD-proses

● Gloeien fan III-V gearstalde healgeleiders

Oplossingen foar pinepunten yn 'e sektor

Us oplossingen geane yn op de pinepunten fan ús klanten:

1. Fersmoarging fan dieltsjes by hege temperatueren: 6N-coating blokkearret ûnreinheidsdelslach.

Faak ferfanging fan SiC yn kwartskomponinten fergruttet de korrosjebestriding mei 8 kear.

2. CTE-konsistinsjeûntwerp foar termyske útwreidingsmismatch fan termyske fjildkomponinten yn 'e heule searje SiC-materialen.

3. Ultra-gepoleerde oerflakbehanneling fan metaalfersmoarging op 'e efterkant fan' e wafer (Ra 0.2μm).

Kearnfoardielen fan technyske spesifikaasjes fan komponinten:

1. SiC-ovenbuis - Suverens fan basismateriaal: 99.9% sintere silisiumkarbid

▶ Termyske skokbestindigens wurdt 3 kear ferbettere (snelle ôfkuolling > 1600 ℃)

De koëffisjint fan termyske útwreiding is sa leech as 4.6 × 10⁻⁶/℃

Nanoskaalcoating - CVD-ôfsetting fan 6N-klasse hege suverens SiC (99.9999%)

▶ Blokkearjen fan de diffúzje fan metalen lykas Fe en Ni

▶ Oerflakrûchheid Ra < 0.5μm

2. SiC-waferboat - Kompatibel mei 12-inch wafers

- Meardlaach draachber ûntwerp

▶ 100% termyske oerienkomst mei ovenbuizen

De fersmoargingsrate fan 'e wafer is minder as 0.01 ppb

3. Cantilever-peddelsysteem - isostatysk grafytsubstraat + SiC-coating

- Automatyske útrjochtingskrektens ± 0.1mm

▶ Kruipweerstandslibben > 100,000 kear

De oerdrachtvibraasje is minder as 5μm

Disruptive technologyske hichtepunten

De Suverheidsrevolúsje

Twa-nivo beskermingssysteem

De basislaach is 99.9% SiC → om in heechsterkte raamwurk te bouwen

De 6N-nivo CVD-SiC yn 'e funksjonele laach foarmet in fersegele laach op atomêr nivo
barriêre

Unreinheidskontrôle: Na/K < 0.1ppm, swiere metalen < 5ppb, foldocht oan de easken fan prosessen ûnder 28nm

Systeemsynergiefoardiel

● Termyske fjilduniformiteit: Trijefâldich termysk koppelingûntwerp fan ovenbuis + waferboat + peddelblêd, it temperatuerferskil yn 'e konstante temperatuersône (> 1200 ℃) is ≤ ± 1.5 ℃

● Ferdûbeling fan 'e libbensdoer: De hiele oplossing ferlingt de libbensdoer mei 40% yn ferliking mei it hybride systeem, mei in MTBA fan mear as 8,000 oeren