EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Diffusiebuis mei hege suverens fan kwarts
Semixlab is in liedende fabrikant fan kwartskomponinten yn Sina, spesjalisearre yn it ûntwerp en de produksje fan diffúzjebuizen fan kwarts mei hege suverens foar oksidaasje-, diffúzje- en gloeiprosessen foar healgeleiders. Makke fan ultra-suvere fusearre silika (≥99.99% SiO₂) en ferfine troch presyzjefoarming en strange fersmoargingskontrôle, soarget elke buis foar treflike termyske stabiliteit en ultra-lege nivo's fan metaalûnreinheden. Wy sjogge út nei jo fierdere oerlis.
Beskriuwing
Semixlab High Purity Quartz Diffusion Tube is spesifyk ûntworpen foar termyske prosessen by hege temperatueren yn 'e produksje fan healgeleiders, ynklusyf oksidaasje, dopantdiffúzje en gloeien.
Makke fan ultra-hege suverens fusearre silika (≥99.99% SiO₂), is elke buis ûntworpen om útsûnderlike gemyske stabiliteit, minimale fersmoarging en krekte termyske uniformiteit te leverjen - wat soarget foar konsekwinte waferferwurkingsresultaten yn easken skjinne keameromjouwings.
Oft se no yntegrearre binne yn fertikale of horizontale diffúzjeovens, de kwartsbuizen fan Semixlab binne presyzjefoarme en yngeand hifke om te foldwaan oan de strange easken fan 'e fabrikaazje fan IC-, LED-, MEMS- en stroomfoarsjenningsapparaten.
Oanfraach
Tapassingen yn healgeleiderprosessen
1. Termyske Oxidaasje
Yn termyske oksidaasjeovens fungearje kwartsdiffúsjebuizen as de primêre reaksjekeamer wêr't silisiumwafers bleatsteld wurde oan O₂- of H₂O-damp by ferhege temperatueren (900–1150 °C).
● Biedet in skjinne en stabile soerstofomjouwing foar unifoarme SiO₂-groei.
● Eliminearret fersmoarging troch metaalionen, wêrtroch in hege diëlektryske yntegriteit foar poarte- en isolaasjeoksiden garandearre wurdt.
Diffusjebuis mei hege suverens fan kwarts is ideaal foar waferferwurking
2. Dopantdiffúzje
Kwartsdiffúzjebuizen wurde brûkt om dopantatomen (lykas fosfor of boor) yn it silisiumsubstraat te diffúsearjen om winske junctionprofilen te meitsjen.
● Uitstekende gemyske inertheid foarkomt fersmoarging tidens POCl₃- of BBr₃-reaksjes.
● Behâldt hege suverens sels yn atmosfearen op basis fan halogeen.
3. Gloeien en Drive-In-prosessen
Nei ionymplantaasje of -ôfsetting ûndergeane wafers hege-temperatuergloeiing om dopants te aktivearjen en roosterskea te reparearjen.
● Kwartsbuizen soargje foar in termysk unifoarme, leech-fersmoargingskeamer foar stabile en reprodusearbere resultaten.
● Geskikt foar sawol N₂- as foarmgasgloeiomjouwings.
4. LPCVD en R&D Termyske Ferwurking
Yn lytsskalige LPCVD- as ûndersyksovens kinne kwartsdiffúzjebuizen tsjinje as sawol de reaksje- as de befetsjekeamer.
● Ideaal foar it ôfsetten fan polysilicium, silisiumnitride en oksidefilms.
● Soarget foar lege dieltsjefoarming en hege werhelberens oer ferskate rûnten.
Competitive Advantage
Foardielen fan Semixlab
1. Materiaalsuverens en traceerberens
Elke kwartsbuis is makke fan ultra-suvere fusearre silika ôfkomstich fan sertifisearre leveransiers. ICP-MS-analyserapporten binne op oanfraach beskikber, wêrtroch't de traceerberens fan elke batch garandearre wurdt.
2. Presyzjeproduksje en oanpassing
Semixlab biedt oanpaste ûntwerpen om te foldwaan oan de spesifike ovenôfmjittings, termyske profilen en gasstreampatroanen dy't troch klanten fereaske wurde.
Opsjes binne:
● Fertikale of horizontale buiskonfiguraasjes
● Oanpaste diameters, muorredikten en einflanges
● Gepolijste of etste oerflakfinishen
● Spesjale ôfhannelingsûntwerpen foar multi-waferdragers
3. Strenge testen en kwaliteitsfersekering
Elke diffúzjebuis ûndergiet foar ferstjoering dimensjonele ynspeksje, oerflakte-yntergriteitstests en termyske spanningssimulaasje. Dit soarget foar kompatibiliteit mei liedende diffúzjeovensystemen lykas TEL, Kokusai, Centrotherm en ASM.
