Hege suverens kwarts waferboat

De kwartswaferboat mei hege suverens is makke fan syntetysk kwartssân troch in bôgesmeltproses, dat in heul lege termyske útwreidingskoëffisjint en poerbêste termyske skokbestindigens hat om te soargjen dat der gjin risiko is op deformaasje of barsten yn it rappe op- en delgongsproses. It oerflak is presys gepolijst om dieltsjefersmoarging te ferminderjen, geskikt foar de rûge en skjinne omjouwing yn 'e produksje fan healgeleiders. It produkt stipet oanpaste grutte (lingte 100-500 mm, oantal sleuven 2-24) en past him oan ferskate wafergrutte (4 "-12").

1. Kearnmateriaaleigenskippen

Arc-smeltproses fan syntetysk kwartsân

Mei help fan kwartsân mei ultra-hege suverens (SiO₂-suverens ≥99.999%) wurdt in amorfe kwartsglêsstruktuer foarme troch bôgesmelttechnology. Dit proses elimineert defekten yn 'e kerrelgrinzen, ferbetteret de materiaaluniformiteit signifikant en soarget derfoar dat de waferboaten stabyl bliuwe by hege temperatueren (≤1250 °C).

Ultra lege koëffisjint fan termyske útwreiding

De termyske útwreidingsfaktor is sa leech as 5.5 × 10^-7K^-1(20-300 °C), wêrtroch hast gjin grutteferoaring mooglik is by rappe temperatuerstiging en -daling (bygelyks 200 °C /min yn healgeleiderprosessen), wêrtroch mikroskeuren of deformaasje troch termyske stress foarkommen wurde.

Optimalisaasje fan termyske skokbestindigens

Troch it gradiëntgloeiproses kin it temperatuerferskil yn termyske skoktolerânsje 1200 ℃ → keamertemperatuer berikke foar mear as 100 syklusen sûnder te barsten, en foldocht oan de strange easken fan ionymplantaasje, rappe gloeiing en oare prosessen.

2. Presyzjebewerking en oerflakbehanneling

Nanoskaal polearjende technology

De oerflakteruwheid wurdt kontroleare op Ra≤0.2μm, en gemysk-meganysk polearjen (CMP) yn kombinaasje mei plasma-etsen wurdt brûkt om de adsorpsje fan dieltsjes effektyf te ferminderjen, en de skjinens is yn oerienstimming mei de SEMI F47-standert (dieltsjesnûmer ≤10 /[e-post beskerme]μm).

Antifouling coating (opsjoneel)

De oerflakcoating fan silisiumkarbid of silisiumnitride kin oanpast wurde om de wriuwingskoëffisjint fan it kontaktflak fan 'e wafer te ferminderjen (μ≤0.05), wêrtroch it risiko op krassen en migraasje fan metaalioanen ferminderet.

Quick Detail:

1. Oare nammen: Kwartsboat, waferbeugel.

2. Tapassing: Dragen en oerdracht yn in hege temperatuerproses fan healgeleiderwafer, geskikt foar diffúzje, oksidaasje en oare prosessen.

3. Kearnparameters: suverens ≥99.99%, maksimale temperatuerresistinsje 1200 ℃, termyske útwreidingskoëffisjint 5.5 × 10^-7/℃.

1. Ferwurking fan healgeleiderwafers (diffúzjeoven, oksidaasjeoven).

2. Ferwurking fan silisiumwafers yn 'e fotovoltaïske yndustry.

3. Eksperimintele waferlagers fan hege temperatuer fan laboratoariumkwaliteit.

Suverensyndustry liedend, metaalûnreinheidsynhâld <1ppm.

Lange libbensdoer (≥500 syklusen mei hege temperatuer).

Stipe net-standert oanpassing, koarte levertiid.