Boatdrager foar kwartswafers

Semixlab kwartsboatstipe is in heechprestaasje-draachark ûntworpen foar de healgeleider-, fotovoltaïsche, LED- en presyzje-elektroanika-yndustry. It is makke fan heechsuver syntetysk kwartsmateriaal. As de kearnferbrûksartikelen yn hege-temperatuerprosessen binne kwartsboatstipes de ideale dragers wurden foar wafers, silisiumwafers, glêzen substraten en oare presyzjekomponinten yn diffúzje, gloeien, oksidaasje, CVD (gemyske dampôfsetting) en oare prosessen fanwegen har poerbêste termyske stabiliteit, gemyske inertheid en ultralange libbensdoer, wêrtroch klanten effisjinte en stabile produksjeprosessen kinne berikke.

Tapassingsscenario's of apparatuer: 

Healgeliederdiffúzje, gloeien, oksidaasje en CVD (Chemical Vapor Deposition) proses.

Bedriuwssterkte

Semixlab Technology Co., Ltd hat 2 R&D-sintra, 2 produksjebases, 12 produksjelinen, mear as 150 meiwurkers, en R&D-ynvestearrings binne goed foar mear as 30%. Us produktlayout wurdt benammen brûkt yn LED, IC-yntergrearre circuits, tredde generaasje healgeleiders, fotovoltaïsche en oare yndustryen. Semixlab hat sterke R&D-, produksje- en yntegreare test- en ferifikaasjemooglikheden. Tagelyk ferbetterje wy ús technology en apparatuer konstant mei in ynvestearring fan tsientallen miljoenen per jier.

Oanpaste tsjinsten

Om oan ferskate behoeften te foldwaan, leverje wy fleksibele oanpassingstsjinsten en stypje wy de folgjende parameteroanpassingen:

Gruttespesifikaasjes: Oanpasse oan ferskate substraten lykas 8 inch en 12 inch, of oanpasse spesjaalfoarmige struktueren neffens klanttekeningen.

Oerflakbehanneling: Opsjoneel sânstralen, coating (lykas silisiumkarbidcoating) en oare prosessen om de tapasberens yn spesifike senario's te ferbetterjen.

Yntegraasje fan accessoires: Kin wurde kombineare mei kwartspylders, baffles en oare komponinten om in folslein draachsysteem te foarmjen.

Kwaliteitsfersekeringssysteem

Grûnstoftesten: Ymportearre kwartsân mei hege suverens, analysearre troch ICP-MS (induktyf keppele plasmamassaspektrometry).

Proseskontrôle: CNC-presyzjebewerking + automatisearre testen, tolerânsje foar wichtige diminsjes ≤ ± 0.05 mm.

Skjinne ferpakking: Klasse 100 ultra-skjinne miljeuferpakking om fersmoarging by ferfier te foarkommen.

Typyske applikaasjescenario's

Healgeliederproduksje: brûkt foar hege-temperatuer gloeien, oksidaasje en tinne-filmôfsettingsprosessen fan wafers yn diffúzjeovens en fertikale ovens.

Fotovoltaïske yndustry: Dragen en oerdracht fan PERC- en TOPCon-sellen yn PECVD, fosfordiffúzje en oare prosessen.

LED-epitaxy: Precise posysjonearring en hege-temperatuer epitaksiale groei fan saffiersubstraten yn MOCVD-apparatuer.

Undersyksfjild: Materiaal sinterjen en testen yn laboratoarium hege-temperatuer ovens en fakuümomjouwings.

1. Excellent hege temperatuer ferset

De kwartsboatstipe kin hege temperatueromjouwings boppe 1200 ℃ lange tiid ferneare, mei in ekstreem lege termyske útwreidingskoëffisjint (sawat 5.5 × 10⁻⁷/℃). It kin noch altyd strukturele stabiliteit behâlde ûnder rappe koel- en ferwaarmingsomstannichheden, wêrtroch barsten of deformaasje feroarsake troch termyske stress foarkommen wurdt, en it proses werhelleberens garandearre wurdt.

2. Ultra-hege suverens en gemyske inertheid

Makke fan 99.99% of mear kwartsân mei hege suverens, gjin delslach, gjin fersmoarging, foarkomt effektyf dat metaalioanen of dieltsjesûnreinheden it waferoerflak fersmoargje by hege temperatuer, foaral geskikt foar avansearre prosessen mei strange easken foar skjinens (lykas chipproduksje ûnder 7nm).

3. Presyzje struktureel ûntwerp

It oerflak fan 'e boatstipe is mei hege presyzje gepolijst (rûchheid Ra≤0.2μm), foarsjoen fan in patintearre sleufstruktuer, dy't stabyl substraten fan ferskate grutte (lykas 8/12-inch wafers) kin drage, wêrtroch't unifoarme ferwaarming en gassirkulaasje wurdt garandearre, en de prosesuniformiteit ferbettere wurdt.

4. Ultra-lange libbensdoer

Yn ferliking mei tradisjonele grafyt- of keramyske dragers hawwe kwartsmaterialen in sterke korrosjebestriding, in leech ferliespersintaazje yn soere/alkalyske atmosfearen, en in trochgeande gebrûkssyklus kin 12-24 moannen berikke, wêrtroch't de wiidweidige kosten fan 'e klant signifikant wurde fermindere.