EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Isostatyske grafyt mei hege suverens foar healgeleiders
Isostatysk grafyt mei hege suverens is in wichtich avansearre materiaal yn 'e produksje fan healgeleiders. Mei syn termyske uniformiteit, dimensjonele presyzje en fersmoargingsfrije prestaasjes bliuwt isostatysk grafyt ûnmisber yn it foarútstribjen fan healgeleiderprosessen lykas MOCVD, RTP, diffúzje en SiC-epitaxy. Syn unifoarme tichtheid en poerbêste ferwurkberens meitsje presys fabrikaazje fan komplekse, hege prestaasjeskomponinten mooglik. Wy sjogge út nei jo fierdere oerlis.
Beskriuwing
Spesifikaasjes
| Fysike eigenskippen fan isostatysk grafyt | ||
| Besit | Ienheid | Typyske wearde |
| Soartlik gewicht | g / cm³ | 1.83 |
| hurdens | HSD | 58 |
| Electrical Resistivity | μΩ.m | 10 |
| Fleksjele krêft | MPa | 47 |
| Kompresjekrêft | MPa | 103 |
| Tensile Strength | MPa | 31 |
| Young's Modulus | GPa | 11.8 |
| Thermal Expansion (CTE) | 10-6K-1 | 4.6 |
| Warmtegelieding | W·m-1K-1 | 130 |
| Gemiddelde Grain Grutte | μm | 8-10 |
| Porositeit | % | 10 |
| Asynhâld | ppm | ≤5 (nei suvere) |
Oanfraach
Semixlab Heech suverens isostatyske grafyt, fanwegen syn hege suverens, fynkerrelstruktuer, unifoarme tichtheid, termyske skokbestindigens en poerbêste ferwurkberens, wurdt in soad brûkt yn 'e healgeleideryndustry. Hjirûnder steane de wichtichste ôfmakke produkten en harren oerienkommende rollen yn krityske prosessen:
Isostatyske grafyt foar healgeleiderapplikaasjes
1. Yn MOCVD (Metaal-Organyske Gemyske Dampôfsetting)
MOCVD is in kearnproses foar it meitsjen fan epitaksiale lagen fan GaN, GaAs en SiC. Isostatyske grafyt wurdt faak brûkt om te meitsjen:
● Susceptors: Tsjinje as waferdragers dy't wafers yn 'e reaktor hâlde en rotearje. Se soargje foar in unifoarme waarmte-oerdracht, wêrtroch't konsekwinte epitaksiale groei oer it waferoerflak garandearre wurdt. Typysk bedekt mei CVD SiC of TaC om de gemyske wjerstân te ferbetterjen en de libbensdoer te ferlingjen.
● Waferdragers / Grafytboaten: Brûkt om meardere wafers tagelyk te laden. Se fereaskje presys bewurking om de waferflakheid te behâlden en fersmoarging te foarkommen.
● Ferwaarmingseleminten: Grafytferwaarmingselementen leverje stabile en unifoarme termyske fjilden dy't essensjeel binne foar epitaksy fan hege kwaliteit.
Wichtige rol: Isostatyske grafyt soarget foar temperatueruniformiteit, gemyske stabiliteit en lange libbensdoer, wat direkt ynfloed hat op de kwaliteit fan 'e epitaksiale film.
2. Yn annealing- en diffúzjeovens
Hege-temperatuer termyske ferwurkingstappen, lykas dopantdiffúzje, oksidaasje en gloeien, binne sterk ôfhinklik fan isostatyske grafytkomponinten, ynklusyf:
● Diffúzjeovenboaten: Hâlde wafers fêst tidens hege-temperatuer gloeien en dopantdiffúsjeprosessen. Grafyt biedt poerbêste termyske stabiliteit en minimale deformaasje ûnder werhelle termyske syklusen.
● Liners en isolaasjekomponinten: Grafytliners en skylden beskermje ovenkeamers tsjin fersmoarging en ferbetterje temperatueruniformiteit.
● Ferwaarmingsbuizen en -eleminten: Brûkt as wjerstânferwaarming yn omjouwings mei hege temperatueren, en leveret krekte en konsekwinte waarmte.
Wichtige rol: Isostatyske grafytkomponinten meitsje fersmoargingsfrije, stabile en werhellebere waarmtebehanneling mooglik, krúsjaal foar dopantaktivaasje en defektreduksje.
3. Yn SiC-epitaksy (4H-SiC, 6H-SiC groei)
Epitaksiale groei fan SiC fereasket ultrahege temperatueren (>1500 °C) en korrosive gasomjouwings. Isostatysk grafyt wurdt brûkt om te meitsjen:
● SiC-coated susceptors: Biede de substraatstipe tidens SiC-epitaxy, wêrtroch't poerbêste waarmteferdieling en oerflakstabiliteit ûnder ekstreme omstannichheden garandearre wurde.
● Grafytpeddels en waferhâlders: Befêstigje wafers tidens rotaasje en gasstream, wêrtroch in unifoarme groeisnelheid en laachdikte garandearre wurde.
● Prosesbuiskomponinten: Strukturele grafytûnderdielen yn epitaksyreaktors binne bestand tsjin agressive omjouwings, wylst se de suverens behâlde.
Wichtige rol: Isostatyske grafyt yn SiC-epitaxy soarget foar dimensjonele presyzje, gemyske wjerstân en betrouber termysk behear, dy't direkt ynfloed hawwe op waferopbringst en epitaksiale filmuniformiteit.
As in liedende leveransier fan isostatyske grafyt mei hege suverens yn Sina, set Semixlab him yn foar it leverjen fan avansearre produkten en technyske oplossingen foar de healgeleiderferwurkingsyndustry. Wy ferwolkomje jo fragen op elk momint en hoopje oprjocht jo partner op lange termyn te wurden.
ús tsjinsten
Produktwinkel fan Semixlab
