EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC Coated grafyt heater foar MOCVD
De Semixlab SiC Coated Graphite MOCVD Heater is in hege prestaasjes ferwaarme drager ûntworpen foar healgeleiderproduksjeprosessen dy't gemyske dampôfsetting (CVD) brûkt om in unifoarme, tichte silisiumkarbide (SiC) coating te foarmjen op it oerflak fan in ultra-hege suverens grafytsubstraat.
Beskriuwing
Products Details
De SiC-coated grafyt MOCVD-ferwaarmer kombinearret de poerbêste termyske geliedingsfermogen fan grafyt mei de hege temperatuer- en korrosjebestriding fan SiC-coatings, en wurdt breed brûkt yn metaal-organyske gemyske dampôfsettingsapparatuer (MOCVD) om stabiliteit en hege suverens te garandearjen yn wafer-epitaxy-groeiprosessen.
Produktfunksjes fan SiC-coated grafyt MOCVD-ferwaarming
1. Ultrahege suverens en gemyske stabiliteit
Suverens ≥99.99995%: Us grafytferwaarmer wurdt taret ûnder hege temperatuerchlorinaasje fia it CVD-proses, wat effektyf fersmoarging fan metaalûnreinheden foarkomt en foldocht oan 'e fraach nei ultra-skjinne omjouwings yn' e healgeleiderproduksje.
Anti-gemyske korrosje: De tichte en hege hurdens fan SiC-coating (Vickers-hurdens fan 2500-2800) kin de eroazje fan soeren, alkaliën, sâlt en organyske oplosmiddels wjerstean, wat de libbensdoer fan 'e apparatuer yn' e korrosive gasomjouwing ferlingt.
2. Excellent hege temperatuer ferset
Hege temperatuerstabiliteit: it kin oant 3000 °C wjerstean yn inerte sfear, stabile operaasje oant 2200 °C yn fakuümomjouwing, en 1600-1700 °C yn oksidearjende omjouwing, wat geskikt is foar de ekstreme omstannichheden fan 'e MOCVD-reaksjekeamer.
Lege termyske útwreidingskoëffisjint (4.5 x 10-⁶K-¹): Dizze funksje fan MOCVD-grafytferwaarmer ferminderet effektyf barsten of ôfbladderjen fan coatings fanwege temperatuerferoaringen, wêrtroch strukturele yntegriteit ûnder lange termyske syklussen garandearre wurdt.
3. Optimalisearre termyske behearprestaasjes
Hege termyske geliedingsfermogen (200-300 W/mK): De hege termyske geliedingsfermogen fan 'e grafyt MOCVD-ferwaarmer bepaalt dat it produkt waarmte fluch en unifoarm kin oerdrage om in konsekwinte temperatuerferdieling fan it waferoerflak (± 1 °C) te berikken, wêrtroch't de uniformiteit fan 'e epitaksiale laach effektyf ferbettere wurdt.
Untwerp fan laminêr gasstreamfjild: Nei trochgeande technology-iteraasje en upgrade soarget ús MOCVD-ferwaarmingsoppervlakteglêdens (Ra ≤ 0.8μm) en geometry-optimalisaasje foar in unifoarme ferdieling fan reaktive gassen en ferminderet it net-uniformiteit fan ôfsetting feroarsake troch turbulinsje.
Spesifikaasjes
Fergeliking en foardielen fan technyske parameters
| skaaimerken | Semixlab SiC-coated kachels | Konvinsjonele grafytferwaarmingsapparaten |
| Maksimale wurktemperatuer (inert) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Gemyske suverens | ≥99.99995% | ≤99.99 |
| Warmtegelieding | 300 W / mK | 120-150 W/mK |
| Coating adhesion | 415 MPa (4-punts bûging) | 100-200 MPa |
| Typyske libbensduur (syklusen) | > 500 cycles | 100-200 syklusen |
Competitive Advantage
Wêrom Semixlab?
Oanpassing: Semixlab set him yn foar it leverjen fan oanpaste produkten en technyske tsjinsten oan ús klanten. Wy stypje oanpassing fan net-standert maten (oant 360 mm diameter) en coatingdikten (20-500 μm) om te foldwaan oan in breed skala oan apparatuerbehoeften.
Globale sertifikaasje: Us SiC-coated grafytferwaarmer is SEMI-kompatibel, ISO 9001-sertifisearre, en ús produkten wurde benammen eksportearre nei Jeropa en de Feriene Steaten, lykas Japan en Súd-Korea, mei in signifikant priis/prestaasjefoardiel.
Technyske synergie: Semixlab hat lang nauwe gearwurking ûnderhâlden mei topûndersyksynstellingen yn Sina, mei gebrûk fan patintearre coatingtechnologyen (lykas it SiC³-proses fan CGT Carbon) om coatingdichtheden en termyske skokbestindigens te optimalisearjen.
