TaC-coated LED epi-susceptor

TaC-coated LED epi-susceptor brûkt hege suverens tantaalkarbide (TaC) coatingtechnology, dy't spesjaal ûntworpen is foar MOCVD (metaal-organyske gemyske dampôfsetting) apparatuer en geskikt is foar hege temperatuerôfsettingsprosessen fan LED epitaksiale wafers. It produkt hat poerbêste hege temperatuerresistinsje, korrosjeresistinsje en termyske stabiliteit, wat fersmoarging en dieltsjefergieting signifikant kin ferminderje, en de libbensdoer kin ferlingje. It is in ideale kar foar it ferbetterjen fan LED epitaksiale waferopbringst en produksjeeffisjinsje.

Oanfraach:

De TaC-coated LED epi-susceptor is spesjaal ûntworpen foar MOCVD-apparatuer en wurdt benammen brûkt yn 'e produksje fan epitaksiale LED-wafers, foaral foar de epitaksiale groei fan blauwe en ultraviolette LED's op basis fan galliumnitride (GaN). It kin ek foldwaan oan 'e produksjebehoeften fan SiC/GaN-krêft-healgeleiderapparaten en is geskikt foar hege-temperatuer CVD, MBE en oare materiaalôfsettingseksperiminten yn wittenskiplike ûndersyksynstituten.

Tsjinsten dy't oanbean wurde kinne:

analyse fan klanttapassingsscenario's, oerienkommende materialen, technyske probleemoplossing.

Bedriuwsprofyl:

Semixlab hat 2 laboratoaria, in team fan saakkundigen mei 20 jier materiaalûnderfining, mei R&D en produksje-, test- en ferifikaasjemooglikheden.

Technical Parameters

Main applikaasje fjilden

Ekologyske ketenferifikaasje-oanbefelling

De ekologyske ketenferifikaasje fan 'e Semixlab TaC-coated LED epi-susceptor omfettet grûnstoffen oant produksje, hat ynternasjonale standertsertifikaasje trochjûn, en hat in oantal patintearre technologyen om syn betrouberens en duorsumens te garandearjen yn 'e healgeleider- en nije enerzjyfjilden.

Typysk oanfraachproses

Tarieding fan grûnstoffen (ynspeksje fan grafyt mei hege suverens) → Substraatfabrikaazje (isostatysk persen) → TaC-coatingproses (CVD-ôfsetting) → Neiferwurking (presyzjepolyssing) → Kwaliteitsynspeksje → Ferpakking en levering

As LED-technology him ûntjout nei lytsere maten en hegere presyzje lykas Mini LED en Micro LED, wurde de easken foar stabiliteit en proseskontrôle fan MOCVD-apparatuer hieltyd heger. De promoasje fan TaC-coated LED epi-susceptor kin net allinich de effisjinsje fan besteande LED-produksje ferbetterje, mar ek in betrouberder produksjebasis leverje foar de folgjende generaasje displaytechnology.

Foar detaillearre technyske spesifikaasjes, wite boeken, of foarbylden fan testregelingen, nim dan kontakt op mei ús Technyske Stipeteam om te ûndersiikjen hoe't Semixlab jo proseseffisjinsje kin ferbetterje.

Foardielen fan Semixlab TaC-coated LED epi-susceptorkearn

Super hege temperatuerresistinsje

TaC-coated LED epitaksiale susceptors binne makke fan tantaalkarbidmateriaal mei hege suverens, dat stabyl kin wurkje foar in lange tiid yn hege temperatueromjouwings boppe 1200 °C. Sels ûnder de ekstreme temperatueromstannichheden fan it MOCVD-proses sil de coating net barste of ôfpelle, wêrtroch't de uniformiteit en konsistinsje fan it epitaksiale groeiproses wurdt garandearre en de produktopbringst effektyf ferbettere wurdt.

Poerbêste korrosjebestriding

Tidens it produksjeproses fan LED-epitaksiale wafers moat de susceptor lange tiid bleatsteld wurde oan korrosive gasomjouwings lykas H2 en NH3. De TaC-coating hat in ekstreem sterke gemyske inertheid en kin effektyf gaseroazje wjerstean en ûnreinheden foarkomme dy't ûntsteane troch oksidaasje of reaksje, wêrtroch't de suverens en opto-elektronyske prestaasjes fan 'e epitaksiale wafer garandearre wurde.

Lege termyske deformaasje

De termyske útwreidingskoëffisjint fan 'e TaC-coating is tige oerienkommen mei dy fan it grafytsubstraat, en de susceptor kin in ekstreem lege termyske deformaasjesnelheid behâlde, sels by rappe temperatuerstigingen en -dalingen. Dizze funksje kin it risiko fan epitaksiale waferferfoarming sterk ferminderje, soargje foar unifoarme groei fan 'e epitaksiale laach, en de produktkonsistinsje ferbetterje.

Hege oerflak finish

It oerflak fan 'e susceptor is presys gepolijst, mei de rûchheid ûnder 0.5 μm kontroleare, wêrtroch't it defektpersintaazje tidens epitaksiale groei effektyf ferminderet. It glêde oerflak kin ek de adhesion tusken de epitaksiale wafer en de susceptor ferminderje, wêrtroch it makliker is om de wafer te ferwiderjen en it risiko op waferbrekken ferminderet.

Lang libben ûntwerp

Yn ferliking mei tradisjonele grafytsusceptors hat TaC-coating bettere wearbestindigens en korrosjebestriding, en de libbensdoer kin mei mear as 3 kear ferhege wurde. Dit ferminderet net allinich de frekwinsje fan ferfanging fan konsuminteartikelen, mar ferminderet ek prosesfluktuaasjes feroarsake troch ferâldering fan susceptors, wat de produksjekosten op lange termyn signifikant kin ferminderje.