EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
TaC-bedekte grafydring
TaC-coated grafytringen fan Semixlab binne ûntworpen foar ekstreme prestaasjes yn 'e produksje fan healgeleiders. Us hege suverens Tantaalkarbid (TaC) CVD-coatingringen binne ûnmisber foar CVD-, PVD- en plasma-etsprosessen, en tsjinje as liedingringen, fokusringen en linerringen. Ferminderje dieltsjefersmoarging en ferbetterje de waferopbringst mei ús duorsume en betroubere komponinten.
Beskriuwing
De Semixlab TaC-coated grafytriing is in kritysk ûnderdiel dat benammen brûkt wurdt yn apparatuer foar healgeleiderproduksje. It bestiet út in grafytsubstraat mei hege suverens, sekuer bedekt mei in laach tantaalkarbid (TaC). Dizze avansearre coating soarget foar in superieur oerflak dat it ûnderlizzende grafyt beskermet tsjin rûge gemyske omjouwings en hege temperatueromstannichheden.
Us TaC-coated grafytringen binne ynstrumintal yn prosessen lykas gemyske dampôfsetting (CVD), fysike dampôfsetting (PVD) en plasma-etsen. Se tsjinje as in beskermjende barriêre, in liedingsring of in wichtich struktureel ûnderdiel yn 'e reaksjekeamer, wêrtroch't de yntegriteit en kwaliteit fan 'e definitive healgeleiderwafer garandearre wurdt.
Spesifikaasjes
| Fysyske eigenskippen fan Tantaalkarbid (TaC) Coating | |
| Befolkingstichtens | 14.3 (g/cm³) |
| Spesifike emissiviteit | 0.3 |
| Termyske útwreidingskoëffisjint | 6.3*10-6/K |
| Hardheid (HK) | 2000 HK |
| Ferset | 1 × 10-5 Ohm*cm |
| Termyske stabiliteit | <2500 ℃ |
| Graphite grutte feroarings | -10~-20um |
| Coating thickness | ≥20um typyske wearde (35um±10um) |
Oanfraach
Tapassingen yn healgeleiderprosessen
De robuuste eigenskippen fan ús TaC-coated grafytringen foar healgeleiderproduksje meitsje se ûnmisber yn ferskate wichtige tapassingen.
1. Chemical Vapor Deposition (CVD)
Yn CVD-prosessen, dêr't gassen by hege temperatueren reagearre wurde om tinne films op wafers ôf te setten, is de reaksjekeamer in tige agressive omjouwing. Us CVD TaC-coated ringen wurde brûkt as susceptorringen, liedingringen en linerringen. Se biede útsûnderlike beskerming tsjin korrosive gassen en gemyske oanfallen, foarkomme dieltsjefersmoarging en soargje foar in unifoarme filmdikte oer de wafer. De hege termyske stabiliteit fan TaC makket stabile operaasje mooglik, sels by ekstreme temperatueren.
2. Physical Vapor Deposition (PVD)
Foar PVD-sputterjen en e-beam-ferdamping tsjinje ús ringen as essensjele komponinten binnen de fakuümkeamer. Se fungearje as ôfskermingsringen of liedingsringen dy't oare gefoelige ûnderdielen beskermje tsjin sputterôffal en plasmabombardemint. De bûtengewoane hurdens en tichtheid fan 'e TaC-coating meitsje it tige resistint tsjin dieltsje-eroazje, wêrtroch it risiko op komponintdegradaasje en dêropfolgjende waferdefekten drastysk ferminderet.
3. Plasma-etsen
Tidens plasma-etsen wurdt in tige reaktyf plasma brûkt om selektyf materiaal fan 'e wafer te ferwiderjen. Dit proses ûnderwurp komponinten
Competitive Advantage
Foardielen fan Semixlab TaC-coated grafytringen
1. Superior Duorsumens
● Dicht CVD TaC-coating is folle better bestand tsjin plasma, gemyske oanfallen en meganyske slijtage as bleate grafyt.
2. Hege suverens foar healgeleideropbringst
●Produsearre mei grafyt mei ultra-lege ûnreinheid en in TaC-coating mei hege suverens om ionyske fersmoarging te minimalisearjen.
3. Presyzjebewerking en coatingkontrôle
● Avansearre ferwurking foar krappe tolerânsjes; unifoarme coatingdikte foar konsekwinte prestaasjes.
4. Oanpassing en technyske stipe
● Opsjes foar ferskillende diameters, dwerstrochsneedprofilen, coatingdikten en ôfslutingsfunksjes.
● Technysk advys foar prosesspesifike ûntwerpen.
5. Fluch Prototyping & Wrâldwide Oanfier
● Snelle produksje fan stekproeven, wrâldwide logistyk en betroubere levertiden.
ús tsjinsten
Produktwinkel fan Semixlab
