EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC-coated setskiif
De SiC Coated Set Disc, sekuer makke troch Semixlab, is ûntworpen om te foldwaan oan de strange easken fan healgeleiderklanten foar komponinten mei hege temperatuerresistinsje, korrosjeresistinsje en lege fersmoarging yn epitaksiale prosessen mei hege temperatuer, lykas MOCVD. Dit produkt is makke fan in coating fan hege suverens fan silisiumkarbid (SiC) en grafytmateriaal fan hege kwaliteit, dy't in poerbêste termyske stabiliteit en gemyske inertheid hawwe, en de prosesstabiliteit en konsistinsje fan epitaksiale filmlagen signifikant kinne ferbetterje.
Beskriuwing
SiC-coated setskiifkomposysje
Semixlab SiC Coated Set Disc is in waferdrager ûntworpen foar Aixtron MOCVD-apparatuer. It bestiet benammen út de folgjende twa ûnderdielen:
1. Substraatmateriaal: isostatyske grafyt mei hege suverens
Materiaaleigenskippen: ekstreem hege termyske geliedingsfermogen (oant 180 W/m·K), sterke stabiliteit by hege temperatueren, net maklik te ferfoarmjen of te barsten.
Foardielen: Biedet goede termyske uniformiteit en strukturele sterkte foar wafers, wat in wichtige basis is foar it garandearjen fan de konsistinsje fan it groeiproses.
2. Oerflakcoating: CVD-ôfsetting fan heechsuvere SiC (silisiumkarbid)
Ofsettingsmetoade: Plasma-fersterke CVD of termysk CVD-proses wurdt brûkt, en de coatingdikte wurdt kontroleare tusken 50-200 μm.
Eigenskipsbeskriuwing: De oerflaklaach is ticht en poarjefrij, mei in meganyske sterkte fan Mohs-hurdens tichtby 9, en is ekstreem resistint tsjin korrosje en hege-temperatuer-ynfloed.
Wêrom kieze foar Semixlab?
As jo op syk binne nei:
● Heechprestaasjes SiC-coated setskiif foar Aixtron-systemen.
● Carrier-oplossingen dy't oanpaste maten, renovaasjetsjinsten en omjouwings mei hege temperatuerkorrosje stypje.
● Heechweardige ûnderdielen dy't de MOCVD-opbringst ferbetterje en prosesstabiliteitssyklusen ferlingje.
Nim no kontakt mei ús op om de lêste offerte en technyske spesifikaasjes te krijen. Wy leverje wrâldwide levering en technyske stipetsjinsten om jo te helpen fluch yn te setten nei jo produksjeline.
Spesifikaasjes
Analyse fan wichtige fysike eigenskippen
1. Wjerstân tsjin hege temperatuer
De boppeste limyt fan 'e wurktemperatuer kin 1600 °C+ berikke. De coatingstruktuer sil net barste of ôfpelle fanwegen termyske stress en kin in lange-syklus MOCVD-reaksjeomjouwing wjerstean.
2. Termyske geliedingsfermogen en termyske uniformiteit
De kombinaasje fan substraat + coating makket de waarmtegelieding effisjinter en foarkomt wafergroeidefekten feroarsake troch ûngelikense waarmte. De konsistinsje fan termyske gelieding soarget foar de unifoarme ferdieling fan ôfsettingsdikte en gearstalling, en ferbetteret de opbringst.
3. Chemical corrosie ferset
De coating kin effektyf wjerstean tsjin tige korrosive MOCVD-prosesgassen lykas wetterstof, ammoniak, TMGa en TMAl. It materiaal sels hat in tige tichte β-SiC-struktuer en hast gjin side-reaksjes komme foar mei it reaksjegas.
4. Kontrôle fan oerflakdieltsjes
It coatingoerflak hat in lege rûchheid (Ra <0.5 μm) en is net maklik om dieltsjes te adsorbearjen of ôf te skiljen. Ferminderet prosesmikrodieltsjesfersmoarging, foaral geskikt foar grutte waferprosessen fan 6 inch en grutter.
Oanfraach
Produkt tapassingsscenario's en har funksjes
1. Spesjaal ûntworpen foar de struktuer fan 'e Aixtron Planetary Reactor
Fan tapassing op 'e reaksjekeamers fan planetêre draaitafelstrukturen lykas AIX 200 en AIX 2800G4.
De skiifstruktuer is presys ûntworpen om de termyske symmetry en luchtstreambalâns fan 'e wafer tidens rotaasje te garandearjen.
2. Wichtige rol yn gearstalde healgeleider-epitaxy
Tapasber foar MOCVD epitaksiale groei fan ferskate III-V gearstalde materialen, ynklusyf mar net beheind ta:
● GaN/AlGaN: foar LED's, lasers, stroomfoarsjenningsapparaten.
● AlN, InGaN: foar UV-LED's en apparaten mei hege frekwinsje.
● GaAs/InP-epitaxy: foar hege-snelheid elektroanyske apparaten en laserkommunikaasjechips.
Keatling fan epitaksy foar healgeleiderchips:
Produktwinkel fan Semixlab
Semixlab SiC Coated Set Skiifwinkels
