EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
0200-10377 Ring Ienkele 195mm DPS Keamer
By Semixlab leverje wy heechweardige keramyske komponinten foar healgelieders, ûntworpen foar easken plasmaferwurkingsomjouwings. Us AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm DPS-keamer is ûntworpen foar Applied Materials (AMAT) DPS-etssystemen, en leveret poerbêste plasmastabiliteit, keamerbeskerming en prosesuniformiteit foar avansearre healgeliederproduksje.
Beskriuwing
Dizze keramyske ringkomponint, makke mei keramyske materialen fan hege suverens fan healgeliederkwaliteit en presyzje-bewerkingstechnology, biedt útsûnderlike wjerstân tsjin plasma-eroazje, termyske syklussen en dieltsjegeneraasje yn agressive droege-etsomjouwings.
De AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm DPS Chamber is in presyzje keramyske ringkomponint dy't benammen brûkt wurdt yn AMAT DPS (Decoupled Plasma Source) systemen foar 200mm waferferwurkingsapplikaasjes.
Key Features:
● Keramysk materiaal fan hege suverens
● Uitstekende RF-plasmakompatibiliteit
● Lege fersmoarging en dieltsjegeneraasje
● Superieure plasma-eroazjebestriding
● Hege meganyske en termyske stabiliteit
● Presyzjebewerking foar DPS-keameryntegraasje
Rollen yn AMAT DPS-systemen
Yn AMAT DPS plasma-etsingssystemen funksjonearret de Ring Single 195mm Keramyske Komponint as in kritysk plasmakontrôle- en keamerbeskermingsdiel.
Plasma Edge Control
De keramyske ring helpt de plasmaferdieling tichtby de râne fan 'e wafer te optimalisearjen, wêrtroch't de etsuniformiteit ferbettere wurdt en de ôfwiking fan it râneproses minimalisearre wurdt tidens plasmaferwurking mei hege tichtheid.
ESC & Keamerbeskerming
De ring is ynstalleare om it gebiet fan 'e elektrostatyske chuck (ESC), en fungearret as in beskermjende barriêre tsjin agressive plasmagemy, wêrtroch't eroazje fan 'e keamer wurdt fermindere en de libbensduur fan komponinten ferlingd wurdt.
RF Plasma Stabilisaasje
Mei stabile diëlektryske skaaimerken draacht de keramyske ring by oan ferbettere RF-koppeling en plasmastabiliteit yn 'e DPS-keamer.
Fermindering fan fersmoarging
De keramyske struktuer mei hege suverens minimalisearret dieltsjegeneraasje en metaalfersmoarging, en stipet de easken foar avansearre skjinens fan healgeleiderprosessen.
Typyske tapassingen yn healgeleiderprosessen
De AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm DPS Keamer wurdt in soad brûkt yn avansearre droege ets- en plasmaferwurkingsapplikaasjes, ynklusyf:
Diëlektryske etsing: Stipet stabyl plasmagedrach tidens okside- en diëlektryske laach-etsprosessen.
Okside & Kontaktets: Helpt de etsuniformiteit en waferrânekontrôle te ferbetterjen yn kontakt- en fia formaasjeprosessen.
Metaal etsen: Biedet keamerbeskerming en prosesstabiliteit yn omjouwings foar metaalplasma-etsing.
Avansearre plasmaferwurking: Geskikt foar plasma-tapassingen mei hege tichtheid dy't lege dieltsjefersmoarging en stabile RF-prestaasjes fereaskje.
200mm Healgeleiderproduksje: Optimalisearre foar AMAT DPS-systemen dy't 8-inch wafers ferwurkje yn healgeleiderfabriken.
Wêrom Semixlab?
Semixlab is spesjalisearre yn avansearre healgeleiderkeramyske komponinten foar plasma-etsen, ôfsetting en termyske ferwurkingsapparatuer.
Wy leverje:
● Keramyske materialen fan healgeleiderkwaliteit
● Presyzjebewerkingsmooglikheden
● OEM-kompatible healgeleiderûnderdielen
● Stabile kwaliteitskontrôle
● Oanpaste keramyske oplossingen
Us missy is om fabrikanten fan healgeleiders te stypjen mei betroubere, heechprestaasjes materiaaloplossingen foar apparatuer foar it meitsjen fan wafers fan 'e folgjende generaasje.
ús tsjinsten
